SEM (Scanning Electron Microscopy) 扫描电子显微镜

原理：电子束与样品作用激发出不同信号

背散射电子（BSE）

弹性散射，几百纳米深度，衬度图像可做成分分析

二次电子（SE）

深度：5-10nm 能够有效表示表面形貌

特征X射线

入射电子激发原子的内层电子，发生能级跃迁，可做能谱分析

EDS （Energy Dispersive Spectrometer）在真空状态下永电子束轰击样品表面，激发物质发射出x射线

可能存在的误差现象

1、探测到C O 这些原样品中没有的元素

可能是制样、转运的过程中与空气接触，吸附空气中的一些低沸点VOC 如：烷烃、芳烃、酯类等物质

2、探测到不该有的金属元素，如Al Cu

可能与测试基底有关 （一般可以测试到1 um深度的元素）

3、元素重叠峰 （原子核外电子层 K L M）

Ti(K) Ba（L）

Si(K) Ta(M) W(M)

1、放大倍数

有效放大倍数：眼睛分辨率与显微镜分辨率之比

2、图像景深

图像上构成清晰影像的深度

3、荷电

不导电的试样，受入射电子作用，表面发生的电荷积累现象 （随着扫描时间部分区域逐渐变亮）

可以通过喷金加强导电性

4、碳化

样品被污染后轰击碳化

高倍拍照的时候，要注意Wobble 电子束对中

爬取 CT 云影像的 DICOM 原始文件
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